超聲空化閾值與超聲波頻率密切相關(guān)。頻率越高，空化閥越高。換句話說，頻率越低，越容易產(chǎn)生空化，并且在低頻下液體的壓縮和變薄具有更長(zhǎng)的時(shí)間間隔，從而使氣泡在破裂之前可以增長(zhǎng)到更大的尺寸，從而增加高度?；瘜W(xué)強(qiáng)度有利于清潔效果。

因此，低頻超聲波清洗適用于大型零件表面或污垢與清洗零件表面高度粘結(jié)的場(chǎng)合。但是，容易腐蝕清潔零件的表面，不適合清潔表面光潔度高的零件，并且氣蝕噪聲大。在約40KHZ的頻率下，在相同的聲強(qiáng)下，比頻率為20KHZ時(shí)產(chǎn)生更多的空化氣泡，穿透力強(qiáng)。適用于清洗復(fù)雜表面形狀或盲孔的工件?；瘜W(xué)強(qiáng)度低，適用于清洗污垢與被清洗部位表面結(jié)合力較弱的場(chǎng)合。高頻超聲波清洗適用于計(jì)算機(jī)和微電子元件的精細(xì)清洗; 兆赫超聲波清洗適用于集成電路芯片、硅片和波膜的清洗，可去除微米和亞微米污垢，對(duì)清洗部件無任何損傷。因此，考慮到清洗效果和經(jīng)濟(jì)性，頻率一般選擇在20130KHZ范圍內(nèi)。當(dāng)然，頻率的正確選擇非常重要，具體合適的工作頻率的選擇需要通過一定的實(shí)驗(yàn)來獲得。